Программа управления комплексом роста кристаллов

• построение архитектуры клиент-сервер
• масштабирование на несколько установок
• удаленный доступ к системе
• настройка множества событий ошибки и остановки процесса
• настройка множества предупреждений
• формирование программы роста кристалла

Система контроля примесей в воде

• Измерение температуры с точность 0.001 C
• Поддержание нагрева и охлаждения по программе
• ПО для отображения и сохранения данных
• температурная стабильность

Система управление стойкой ЭМ-584

• Система предназначена для управление установкой проекционной фотолитографии
• Разработана программа и устройство сопряжения
• Программа позволила работать со старой стойкой управления
• Графическое формирование задания

Система контроля процесса напыления титана

• время регистрации информации до 24 часов
• высокоточные входы
• измерение токов и напряжения
• защита от помех
• подключение через USB
• Программа управления блоком
  • изменение всех параметров эксперимента
  • автоматическая запись результатов в БД
  • сортировка результатов в БД
  • восстановление результатов эксперимента с параметрами

Система измерения ВАХ приборов

• 4 независимых канала
• диапазон напряжений -14 ... +14 В
• диапазон токов -100 ... +100 mA, -1 ... +1 mA
• защита от КЗ
• каналы работают в режиме источника напряжения/тока
• подключение через USB
• Программа управления прибором
  • изменение всех параметров эксперимента
  • автоматическая запись результатов в БД
  • сортировка результатов в БД
  • восстановление результатов эксперимента с параметрами
  • режим измерения ВАХ характеристики
  • режим измерения ван-дер-пау

Координатная система управления стола ЭМ-584

• программная реализация всех алгоритмов
• применены блоки ЦАП и АЦП на шине PCI
• стабилизация по X,Y,A
• точность позиционирования +- 0.062 um
• перемещение в пределах 0...150 mm
• управление системой через RS-232
• В штатной стойке управления убран верхний ряд блоков замененный одним IBM-PC

Система измерения C-V/С-t характеристик МДП структур

• диапазон емкостей 0...2000 пФ
• зондирующий сигнал ~ 1 MHz, 20 мВ
• два независимых канала смещения -14 ... +14 В
• автоматическая калибровка измерительного канала
• методика измерения C-V/C-t характеристик МДП структур
• подключение через USB
• Программа управления прибором
  • изменение всех параметров эксперимента
  • автоматическая запись результатов в БД
  • сортировка результатов в БД
  • восстановление результатов эксперимента с параметрами
  • режим измерения C-V характеристики
  • режим измерения C-t характеристики

Система контроля процесса реактивного ионного травления

• адаптирована для Alcatel GIR200
• точное измерение толщины на основе интерферометра
• измерение характеристик процесса РИТ
• автоматическая остановка процесса
• калибровка толщины верхнего слоя
• автоматическое сохранение всех измерений
• специальное ПО для обработки результатов